| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung schafft eine mikromechanische Gassensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Gassensorvorrichtung umfasst ein Substrat (1; 5); einen auf dem Substrat (1; 5) vorgesehenen porösen Bereich (10; 10a) mit einer dem Substrat (1; 5) abgewandten Oberseite (O), einer dem Substrat (1; 5) zugewandten Unterseite (U) und einer Seitenfläche (SF), welcher von einem zu sensierenden Gas durchströmbar ist; einen Verkappungsbereich (50, 50a), welcher die Oberseite (O) zumindest bereichsweise überdeckt, wobei der Verkappungsbereich (50; 50a) ein oder mehrere Gaszugangskanäle (T1, T2) aufweist, durch welche das Gas in den porösen Bereich (10; 10a) leitbar ist; eine Signalerzeugungseinrichtung (S) zum Erzeugen eines elektromagnetischen Signals (W2; W0; W2‘; W0‘), welches sich in dem Gas innerhalb des porösen Bereiches (10; 10a) ausbreiten kann; eine Signalempfangseinrichtung (E) zum Empfangen des elektromagnetischen Signals (W2; W0; W2‘; W0‘) nach Ausbreiten in dem Gas; und eine Auswerteeinrichtung (100) zum Ermitteln mindestens eines chemischen oder physikalischen Parameters des Gases basierend auf einer Veränderung des elektromagnetischen Signals (W2; W0; W2‘; W0‘) beim Ausbreiten in dem Gas. |
