| 摘要 |
본 발명은, 적어도, 연마포가 첨부된 상하부 정반 사이에 배치되고, 연마 시에 상기 상하부 정반 사이에 끼워지는 상기 웨이퍼를 보유하기 위한 보유 구멍이 형성된 캐리어 모체와, 상기 캐리어 모체의 보유 구멍의 내주를 따라 배치되고, 상기 보유되는 웨이퍼의 모따기부와 접하여 상기 모따기부를 보호하는 링 형상의 수지 링을 구비하며, 상기 수지 링의 내주에 오목한 상태의 홈을 갖고, 상기 홈에 형성된 상하의 테이퍼면과 상기 웨이퍼의 모따기부가 단면 점접촉으로 접하여 상기 웨이퍼가 보유되는 것인 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치용 캐리어이다. 이에 의해, 연마포의 크리프 변형에 의한 웨이퍼의 외주 처짐의 발생을 억제하면서, 연마 중에 있어 웨이퍼를 자전시키는 것에 의해 연마면의 테이퍼의 발생을 저감하여, 평탄도를 향상할 수 있는 양면 연마 장치용 캐리어 및 이를 이용한 양면 연마 장치 및 양면 연마 방법이 제공된다. |
