曝光机台

摘要

曝光机台，系用于对沿一方向行进之一基板进行曝光。该曝光基台包括：输送装置，沿该方向输送该基板，灯管组，具有复数个灯管，该灯管组设置于该输送装置之上，用以曝光该基板，其中该复数个灯管设置于复数个交错点，该复数交错点由至少一横宽线与至少二纵长线所相交，该至少一横宽线垂直于该方向及该至少二纵长线平行于该方向，该等复数个灯管分布范围系涵盖该基板。

主权项

一种曝光机台，系用于对沿一方向行进之一基板进行曝光，包括：一输送装置，沿该方向输送该基板；以及一灯管组，设置于该输送装置之一曝光区上，用以曝光该基板，其中该灯管组具有复数个灯管，每一该等灯管具有一中心点，其中该等灯管之每一该中心点系对应于复数个交错点之每一该等交错点所设置，其中该复数交错点由至少一横宽线与至少二纵长线所相交，该至少一横宽线垂直于该方向及该至少二纵长线平行于该方向，该等纵长线系沿平行于该方向等分该曝光区，该横宽线系沿垂直于该方向等分该曝光区基板，该横宽线具有可设置至少二个该等灯管之长度，该等复数个灯管分布范围系涵盖该曝光区。