光配向照射装置

摘要

明的光配向照射装置系可实现良好的配向特性。

主权项

一种光配向照射装置，系具备有：偏光光束照射手段、平台、及扫描手段；上述偏光光束照射手段系具备有：紫外线照射手段、与偏光手段；上述偏光手段系具备有邻接于邻接方向而加以配置的复数个单位偏光元件；上述单位偏光元件系使从上述紫外线照射手段所射出的紫外线产生偏光；上述平台系可载置于表面形成有配向膜的基板；上述扫描手段系藉由使上述平台或上述偏光光束照射手段中之至少其中一者产生移动，而将来自上述偏光光束照射手段的紫外线，对在上述平台上所载置之上述基板朝既定扫描方向进行扫描；在平行于上述平台之面上，上述单位偏光元件的邻接面及上述单位偏光元件的邻接方向系相对于扫描方向呈倾斜；上述单位偏光元件系为矩形形状；上述单位偏光元件的邻接面系相对于上述单位偏光元件的邻接方向呈倾斜。