发明名称 negative patterned metal thin substrate and manufacturing method thereof
摘要 본 발명의 실시예에 따른 음각 구조의 금속 박막 기판의 제조방법은 LB법으로 입자를 기판 위에 고르게 도포하여 입자 정렬 기판을 제조한 후 이를 몰드로 사용하여 음각 구조의 PDMS 기판을 제조하고, 그 위에 금속을 증착시켜 간단하고 정밀한 방법으로 음각 구조의 금속 박막 기판을 제조할 수 있다. 또한, 특정한 파장대에서 Raman 신호를 강화시킬 수 있으며, 대면적 제조가 가능하다.
申请公布号 KR101592552(B1) 申请公布日期 2016.02.11
申请号 KR20140075548 申请日期 2014.06.20
申请人 아주대학교산학협력단 发明人 김재호;김효섭;최제;정성현;박정균
分类号 C23C26/00 主分类号 C23C26/00
代理机构 代理人
主权项
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