有机无机复合薄膜及其制造方法

摘要

明涉及一种有机无机复合薄膜及其制造方法，尤其涉及一种含稳定新官能基的有机无机复合薄膜，及交替使用无机物前驱物及有机物前驱物，通过分子层沉积法形成的有机无机复合薄膜的制造方法。

主权项

一种有机无机复合薄膜，其特征在于：由如下化学式1表示：[化学式1]-[M-X-R1-Y-]m-其中，所述化学式1中m为1以上，R1为经取代的或未经取代的C1~20烷基(alkyl)、C5~20环烷基(cycloalkyl)、核原子数为5~60的芳基(aryl)或杂芳基(heteroaryl),M选自由Zn,Sn,In,Cd,Ga,Al,Ti,Si,V,Mn,Fe,Co,Cu,Zr,Ru,Mo,Nb及W构成的群组，X,Y分别选自由O和S构成的群组，X或Y中的一个是S。