间歇式涂覆装置及涂膜形成系统

摘要

明提供一种可降低自切换器件向喷嘴传递之振动之间歇式涂覆装置。

主权项

一种间歇式涂覆装置，其特征在于：其系将涂覆液自喷嘴朝向基材间歇地涂覆者，且包括：喷嘴；供给配管，其连接于上述喷嘴，且涂覆液朝向上述喷嘴流动；切换器件，其藉由重复切换上述供给配管之开启及关闭，而使上述涂覆液自上述喷嘴朝向上述基材间歇地喷出；喷嘴基座，其载置上述喷嘴；及切换器件基座，其与上述喷嘴基座为独立个体，且载置上述切换器件；且该间歇式涂覆装置进而包括：喷嘴移动器件，其使上述喷嘴基座移动而调整上述喷嘴相对于上述基材之位置；及切换移动器件，其使上述切换器件向与上述喷嘴基座藉由上述喷嘴移动器件而移动之方向相同之方向移动。