氢氯化作用加热器及其相关方法

摘要

明之系统及方法涉及藉由经由反应物流调节系统及组件向进料流提供适宜反应条件来氢氯化。该等调节系统促进气态氢中之四氯化矽的汽化以产生经四氯化矽饱和之包含氢的反应物流。可在不使用过热蒸汽或热油之情况下藉由采用小于约15巴之饱和蒸汽来实现饱和。可将饱和反应物流进一步加热至实现至三氯矽烷之转化的反应条件。

主权项

一种制备三氯矽烷之方法，其包含：以具有约5巴至约15巴范围内之压力的饱和蒸汽加热包含氢之第一流的至少一部分；使该第一流与包含四氯化矽之第二流接触以产生经四氯化矽饱和之包含氢的气态反应物流；将该气态反应物流引入反应器中；及自该反应器回收包含三氯矽烷、四氯化矽及氢之产物流。