主权项 |
一种应用共轭差分法对柱面镜面形进行绝对检测的方法,其特征在于,检测步骤如下:步骤1)搭建实验装置:装置包括干涉仪(1)、柱面CGH(2)、转盘(3)、调整架(4)和待测柱面(5),调整架(4)固定在转盘(3)上,待测柱面(5)设置在调整架(4)上,沿光轴依次设置干涉仪(1)、柱面CGH(2)、待测柱面(5),待测柱面(5)的中心高不高于干涉仪(1)所发出激光束的中心高;步骤2)装调待测柱面:2‑1)将柱面CGH(2)+1级衍射光斑对准干涉仪(1)的中心光斑,形成+1级干涉载波;2‑2)调节转盘(3)中心位置使转盘(3)中心与柱面CGH(2)焦线重合;2‑3)调节调整架(4),使得待测柱面(5)反射光线汇聚于一点且与干涉仪(1)中心光斑及柱面CGH(2)+1级光斑均重合,此时待测柱面(5)位置为零点位置;步骤3)开启转盘(3),使待测柱面(5)顺时针进行单像素运动,记录干涉仪(1)的测量数据为W<sub>+x</sub>,转回原零点位置后,再逆时针进行单像素运动,记录数据为W<sub>‑x</sub>;步骤4)将待测柱面(5)转回零点位置,将其沿Y轴正方向做单像素运动,记录数据为W<sub>+y</sub>,移至零点后沿负方向做单像素运动,记录数据为W<sub>‑y</sub>;步骤5)令S<sub>x</sub>=W<sub>+x</sub>‑W<sub>‑x</sub>,S<sub>y</sub>=W<sub>+y</sub>‑W<sub>‑y</sub>,此时所得的S<sub>x</sub>为待测柱面(5)在x方向上的差分数据,即x方向上的倾斜量,S<sub>y</sub>为待测柱面(5)在y方向上的差分数据,即y方向上的倾斜量;通过波面复原算法即可恢复出待测柱面的绝对面形。 |