蚀刻握持夹具

摘要

一种蚀刻握持夹具，包括两个侧板、多个支持棒、多个夹板、至少两个夹板滑棒及至少一个夹板压棒，所述两个侧板分置左、右两侧，所述多个支持棒连接于所述两侧板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板，所述至少一个夹板压棒设置于所述一个侧板上。借此，可用于玻璃片或晶圆蚀刻等工件的握持，使蚀刻液的流场顺畅，玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。

主权项

一种蚀刻握持夹具，其特征在于，包括：两个侧板，所述两个侧板分置左、右两侧；多个支持棒，所述多个支持棒连接于所述两侧板；多个夹板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间；至少两个夹板滑棒，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板；以及至少一个夹板压棒，设置于所述一个侧板上。