发明名称 |
有机电致发光元件的制造方法和有机电致发光显示装置 |
摘要 |
本发明提供能够抑制模糊宽度增大并且缩短成膜时间的有机EL元件的制造方法和有机EL显示装置。本发明是使用扫描蒸镀法的有机EL元件的制造方法,其特征在于,以与限制板的各开口部相对的方式在蒸镀源设置多个射出口,将与同一开口部相对的多个射出口相互分离地配置,使得由下述式(1)表示的分布之和为1以下。R<sub>i</sub>表示与同一开口部相对的多个射出口中的射出口i的最大成膜速率,i表示1以上m以下的整数,m表示与同一开口部相对的多个射出口的个数,r<sub>i</sub>表示蒸镀工序中的射出口i的实际的成膜速率,n<sub>i</sub>为射出口i的n值(0以上的数),θ<sub>i</sub>表示将射出口i与成膜区域内的任意点连结的线段与主成膜方向所成的角。 |
申请公布号 |
CN105324511A |
申请公布日期 |
2016.02.10 |
申请号 |
CN201480035328.5 |
申请日期 |
2014.05.01 |
申请人 |
夏普株式会社 |
发明人 |
井上智;菊池克浩;川户伸一;越智贵志;小林勇毅;市原正浩;松本荣一 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳;池兵 |
主权项 |
一种有机电致发光元件的制造方法,其特征在于:所述制造方法包括蒸镀工序,在使基板与掩模分离的状态下,在使所述基板相对于1个以上的蒸镀源、限制板和所述掩模相对移动的同时,使蒸镀颗粒附着在所述基板上,形成薄膜的图案,所述1个以上的蒸镀源、所述限制板、所述掩模和所述基板依次配置,在所述限制板设置有多个开口部,在所述1个以上的蒸镀源,与所述多个开口部中的各个开口部相对地设置有多个射出口,在所述蒸镀工序中,在r<sub>i</sub><R<sub>i</sub>的条件下进行蒸镀,与同一开口部相对的多个射出口相互分离地配置,使得由下述式(1)表示的分布之和为1以下,cos(n<sub>i</sub>+3)θ<sub>i</sub>×r<sub>i</sub>/R<sub>i</sub> (i),其中,R<sub>i</sub>表示与所述同一开口部相对的所述多个射出口中的射出口i的最大成膜速率,i表示1以上m以下的整数,m表示与所述同一开口部相对的所述多个射出口的个数,r<sub>i</sub>表示所述蒸镀工序中的所述射出口i的实际的成膜速率,n<sub>i</sub>为所述射出口i的n值,该n值为0以上的数,θ<sub>i</sub>表示将所述射出口i与成膜区域内的任意点连结的线段与主成膜方向所成的角。 |
地址 |
日本大阪府 |