发明名称 |
行星式旋转托盘装置 |
摘要 |
本发明提供了一种行星式旋转托盘装置。该行星式旋转托盘装置包括:固定板,其中心位置设置通孔,其外侧具有环形凹入轨道,驱动轴由通孔伸入;中心齿轮,固定于固定板的正面,由驱动轴驱动绕固定板中心位置的通孔转动;卫星盘架组,包括位于同一径向位置的若干个卫星盘架,每一个卫星盘架的转轴的底部均卡入固定板外侧的环形凹入轨道中,并可沿该环形凹入轨道前后移动;其中,每一卫星盘架的上部均具有上齿轮,相邻卫星盘架的上齿轮相互啮合,至少一卫星盘架的下部具有与其上齿轮共用一转轴的下齿轮,该下齿轮与中心齿轮处于同一平面,两者相互啮合。本发明行星式旋转托盘装置可实现每一卫星盘架的自转与公转。 |
申请公布号 |
CN103806095B |
申请公布日期 |
2016.02.10 |
申请号 |
CN201410054225.5 |
申请日期 |
2014.02.18 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
刘立莉;杨华;路红喜;郭金霞;李璟 |
分类号 |
C30B25/12(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I |
主分类号 |
C30B25/12(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
曹玲柱 |
主权项 |
一种行星式旋转托盘装置,其特征在于,包括:固定板,其中心位置设置通孔,其外侧具有环形凹入轨道,驱动轴由所述通孔伸入;中心齿轮,固定于所述固定板的正面,由所述驱动轴驱动绕固定板中心位置的所述通孔转动;卫星盘架组,包括位于同一径向位置的若干个卫星盘架,每一个卫星盘架的转轴的底部均卡入所述固定板外侧的环形凹入轨道中,并可沿该环形凹入轨道前后移动;其中,每一卫星盘架的上部均具有上齿轮,相邻卫星盘架的上齿轮相互啮合,至少一卫星盘架的下部具有与其上齿轮共用一转轴的下齿轮,该下齿轮与所述中心齿轮处于同一平面,两者相互啮合。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |