一种离子束采集方法

摘要

本发明公开了一种离子束采集系统与离子束采集方法，属于半导体制造领域。离子束采集系统包括：计算机、运动控制器、直流电机、移动法拉第，离子束采集方法包括离子束采集系统对离子束的等距均匀采集，通过计算机编制控制程序，由运动控制器控制直流电机带动移动法拉第运动，同时运动控制器根据直流电机运动产生等距离触发脉冲，实现运动控制器等距均匀采集离子束流的目的。本发明能够实现离子束流精确、均匀的采集。

主权项

一种离子束采集方法，包括计算机(1)与运动控制器(2)实现的控制策略与控制程序，通过运动控制器(2)控制直流电机(3)带动移动法拉第杯(4)采集离子束水平方向各点的束流大小，通过直流电机(3)每运动等距离，运动控制器(2)内部产生硬件触发脉冲，运动控制器(2)通过判断该硬件触发脉冲的上升沿，从而对进入移动法拉第杯(4)的束流进行采集；所述的水平方向的离子束流采集方法如下：步骤(1)对硬件触发脉冲设定位置捕捉寄存器A、位置捕捉寄存器B及自动增量寄存器C的值，使电机起始运动位置处于B与A之间；若设定A与C，则步骤(2)将步骤(1)实现的位置捕捉寄存器A1、位置捕捉寄存器B1及自动增量寄存器C嵌入到由计算机(1)及运动控制器(2)编写的控制程序中；步骤(3)直流电机(3)读取运动控制器(2)的控制指令进行运动，在运动过程中，直流电机每运动自动增量寄存器C中的数值编码个数，运动控制器(2)即产生硬件触发脉冲；步骤(4)对运动控制器(2)产生的硬件触发脉冲，通过PLC扫描方法捕捉该触发脉冲的上升沿；步骤(5)当捕捉到运动控制器(2)产生的硬件触发脉冲的上升沿时，运动控制器(2)即对进入移动法拉第杯(4)的束流进行采集，并记录当前电机位置值，此即完成一个位置点的束流采集；步骤(6)运动控制器(2)扫描硬件触发脉冲，直至下一个触发脉冲上升沿的到来，从而采集另一个位置点的束流值。