三氯硅烷气化系统

摘要

本文公开了用于将液体气化的换热器及其使用方法。该换热器包括外壳、管、加热器和多个非反应性元件。管置于外壳的内部且具有入口和出口。配置加热器以加热管。多个非反应性元件以使得在元件与管之间限定多个空隙的排列而置于管的内部腔体中。该排列还容许液体通过空隙并从管的入口行进至管的出口。多个非反应性元件和管当液体通过多个空隙时将热传递至液体以将液体气化。

主权项

用于将液体气化的换热器，其包括：具有内部和外表面的外壳；置于外壳的内部的管，管具有内部腔体，管具有各自分开的从外壳的外表面向外的入口和出口，配置入口以用于将液体流引入管中；加热器配置得与管和外壳热连通且构造所述加热器以加热管；多个非反应性元件，其以使得在所述多个非反应性元件与管之间限定多个空隙的排列而置于管的内部腔体中，其中所述多个非反应性元件的排列容许液体通过多个空隙并从管的入口行进至管的出口，其中多个非反应性元件包括第一子组多个非反应性元件和第二子组多个非反应性元件，且其中第一子组多个非反应性元件和第二子组多个非反应性元件具有不同的形状；且其中多个非反应性元件和中空管在液体通过多个空隙时将热传递至液体以将液体至少部分地气化。