等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种等离子体加工设备，包括承载装置和传输装置，承载装置包括卡盘，其用于在实施工艺时承载被加工工件；传输装置用于传输被加工工件，其包括机械手，被加工工件托放在机械手的上表面，机械手和卡盘在竖直方向上作相对运动，以将被加工工件放置在卡盘的上表面或将被加工工件自卡盘的上表面移开；并且，机械手包括本体，本体的两端设有延伸部，延伸部与本体形成一端开口的凹形空间，卡盘相对于机械手在竖直方向上作相对运动时能够穿过凹形空间。上述等离子体加工设备不仅不会影响承载装置对被加工工件的固定和加热，而且加工简单、制造成本低；并且其装载被加工工件的过程简单，加工效率高。

主权项

一种等离子体加工设备，包括承载装置和传输装置，所述承载装置包括卡盘，其用于在实施工艺时承载被加工工件，所述传输装置包括机械手，用于传输被加工工件，且在传输时，所述被加工工件托放在所述机械手的上表面，其特征在于，所述机械手和所述卡盘在竖直方向上作相对运动，以在装载时将所述机械手上表面上的所述被加工工件放置在所述卡盘的上表面，或在卸载时将所述卡盘的上表面上的所述被加工工件放置在所述机械手的上表面；并且，所述机械手包括本体，所述本体的两端设有延伸部，所述延伸部与所述本体形成一端开口的凹形空间，所述卡盘相对于所述机械手在竖直方向上作相对运动时能够穿过所述凹形空间。