| 发明名称 | 基片上料机械手、基片上料系统和PECVD设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基片上料机械手，包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于检测所述手臂的旋转运动。根据本发明实施例的基片上料机械手，通过将手臂可旋转地连接在支架上，使得当基片上料机械手运动受制时可实现与上料台的互锁设计，及时避免了手臂或基片吸附件的损坏，降低了维修和替换成本，并且不耽误工作进程，提高了工作效率。本发明还公开了一种基片上料系统和具有其的PECVD设备。 | ||
| 申请公布号 | CN103510065B | 申请公布日期 | 2016.02.10 |
| 申请号 | CN201210200997.6 | 申请日期 | 2012.06.18 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 张文 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;B25J11/00(2006.01)I;B25J19/02(2006.01)I;B65G47/91(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 黄德海 |
| 主权项 | 一种基片上料机械手，其特征在于，包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于直接检测所述手臂的旋转运动以反馈所述手臂的运动受制状态。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||