切削装置

摘要

本发明提供一种切削装置，通过使供给到被切削刀具切削加工的切削加工部的切削液的流动性变得良好，能够进行切削并使切削屑不会附着于晶片等被加工物的切断面。该切削装置具备：卡盘工作台，其保持被加工物；切削构件，其具备切削刀具，该切削刀具用于切削保持于所述卡盘工作台的被加工物；以及切削液供给构件，其向被所述切削刀具切削加工的切削加工部供给切削液，该切削装置具备超声波生成构件，该超声波生成构件具备：振动板，其夹着切削刀具配置在两侧，并且在振动板与保持于卡盘工作台的被加工物的上表面之间设有用于形成切削液层的间隙；以及超声波振子，其对振动板施加超声波振动。

主权项

一种切削装置，其具备：卡盘工作台，所述卡盘工作台保持被加工物；切削构件，所述切削构件具备切削刀具，该切削刀具用于切削保持于所述卡盘工作台的被加工物；以及切削液供给构件，所述切削液供给构件向被所述切削刀具切削加工的切削加工部供给切削液，所述切削装置的特征在于，该切削装置具备超声波生成构件，该超声波生成构件具备：振动板，所述振动板夹着所述切削刀具配置在两侧，并且在所述振动板与保持于所述卡盘工作台的被加工物的上表面之间设有用于形成切削液层的间隙；以及超声波振子，所述超声波振子对所述振动板施加超声波振动，该切削液供给构件具备用于从该切削刀具的两侧供给切削液的第一喷嘴和第二喷嘴，构成该超声波生成构件的该振动板分别配置于该第一喷嘴和被加工物的上表面之间以及该第二喷嘴和被加工物的上表面之间。