阻抗匹配方法、阻抗匹配系统及等离子体加工设备

摘要

本发明公开了一种阻抗匹配系统、阻抗匹配方法和等离子体加工设备。该阻抗匹配方法通过阻抗匹配网络使射频电源和负载之间的阻抗匹配，所述阻抗匹配网络包括：变压器、电感和电容，所述变压器的初级与所述射频电源连接，所述电感、所述电容和所述负载依次串联在所述变压器的次级，阻抗匹配方法是根据所述阻抗实部偏差获得匝数比调整量，并根据所述匝数比调整量对所述变压器的匝数比进行调整；以及根据所述阻抗虚部偏差获得电容调整量，并根据所述电容调整量对所述电容进行调整。该阻抗匹配方法降低了阻抗匹配的难度，从而更容易实现阻抗匹配。

主权项

一种阻抗匹配方法，通过阻抗匹配网络使射频电源和负载之间的阻抗匹配，所述阻抗匹配网络包括：变压器、电感和电容，所述变压器的初级与所述射频电源连接；其特征在于，所述电感、所述电容和所述负载依次串联在所述变压器的次级，所述方法包括：获取所述射频电源的输出阻抗和所述阻抗匹配网络的输入阻抗；根据所述射频电源的输出阻抗和所述阻抗匹配网络的输入阻抗，获得阻抗实部偏差和阻抗虚部偏差；若判断出所述阻抗实部偏差大于第一预设精度，根据所述阻抗实部偏差获得匝数比调整量，并根据所述匝数比调整量对所述变压器的匝数比进行调整；若判断出所述阻抗实部偏差小于或者等于第一预设精度且判断出所述阻抗虚部偏差大于第二预设精度，根据所述阻抗虚部偏差获得电容调整量，并根据所述电容调整量对所述电容进行调整。