应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备和方法

摘要

本发明涉及太阳能电池的生产领域，其公开了一种应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备和方法，包括靶室单元、靶台扫描运动单元离子束测量控制单元；所述靶室单元内设靶台单元，所述靶台单元包括目标工件、注入隙缝图形掩模和目标工件夹具；所述靶台扫描运动单元携带所述靶台单元运动；所述离子束测量控制单元测量离子束的离子束电流、离子束电流密度分布和离子束的角度；所述目标工件夹具固定所述目标工件和注入隙缝图形掩模。本发明的有益效果是：在太阳能电池片的制作上具有低成本高产能的优点。

主权项

一种应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备，包括离子源，引出电极单元 ，均匀度和角度校正单元，所述引出电极单元以及均匀度和角度校正单元设置在真空室中，所述离子源生成的离子束通过所述引出电极单元引出，其特征在于：所述应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备还包括靶室单元、靶台扫描运动单元和离子束测量控制单元；所述靶室单元内设靶台单元，所述靶台单元包括目标工件、注入隙缝图形掩模和目标工件夹具；所述靶台扫描运动单元携带所述靶台单元运动；所述离子束测量控制单元测量离子束的离子束电流、离子束电流密度分布和离子束的角度；所述目标工件夹具固定所述目标工件和注入隙缝图形掩模；所述离子源为Bernas贝纳斯型离子源或射频型离子源，所述离子源产生等离子体，离子源的离子源室设有一个拉长的开口，这个拉长的开口在一个方向的宽度比其在另一个方向高度要大得多；所述引出电极单元从离子源室的拉长开口获取离子束。