发明名称 CVD装置
摘要
申请公布号 JP5854853(B2) 申请公布日期 2016.02.09
申请号 JP20120005325 申请日期 2012.01.13
申请人 古河電気工業株式会社 发明人 菊地 浩司;山野 聡士;中崎 竜介;安永 紳也;櫻井 紀快;劉 勁
分类号 C23C16/458;C01G1/00;C01G3/00 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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