溶液吐出装置の検査方法およびデバイスの製造方法

摘要

吐出工程と、撮像工程と、読取工程と、撮像領域毎に付着面積が付着面積規格の範囲内であると判断された付着物の中から主滴を判別する判別工程と、を含む溶液吐出装置の検査方法である。付着面積規格の上限値および下限値のそれぞれは、撮像工程における撮像のタイミングに応じて設定されており、第１のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する値よりも、第１のタイミングよりも後の第２のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する値の方が小さい。