| 发明名称 |
単体静電チャック |
| 摘要 |
静電チャックは、複数の加熱要素が内部に配置された熱伝導性ベースを含む。金属層が、熱伝導性ベースの少なくとも一部を覆い、金属層は、複数の加熱要素を高周波（ＲＦ）結合から遮蔽し、静電チャック用の電極として機能する。耐プラズマ性誘電体層が、金属層を覆う。 |
| 申请公布号 |
JP2016503962(A) |
申请公布日期 |
2016.02.08 |
| 申请号 |
JP20150549484 |
申请日期 |
2013.12.11 |
| 申请人 |
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ |
发明人 |
サチ セン;ルボミルスキー ドゥミトリー;サン ジェニファー ワイ;マフラチェフ コンスタンティン |
| 分类号 |
H01L21/683;B25J15/06;H02N13/00 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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