| 摘要 |
<p>Mikromechanisches Bauteil (1), wobei das mikromechanische Bauteil (1) ein schwingfähiges Element (2), einen inneren Rahmen (9), ein erstes Aufhängungselement (3) und ein zweites Aufhängungselement (4) aufweist, wobei das schwingfähige Element (2) in einer Ruheposition in einer Ebene angeordnet ist, wobei die Ebene im wesentlichen parallel zum inneren Rahmen (9) verläuft, wobei die Ebene durch eine erste Achse (A) und eine zur ersten Achse (A) senkrecht stehenden zweiten Achse (B) aufgespannt ist und das schwingfähige Element (2) um beide Achsen (A, B) schwingfähig ist, wobei das schwingfähige Element (2) mittels des ersten Aufhängungselements (3) mit dem inneren Rahmen (9) in Verbindung steht und der innere Rahmen (9) mittels des zweiten Aufhängungselements (4) mit einem Substrat (6) in Verbindung steht, wobei eine Schwingung des schwingfähigen Elements (2) um die erste Achse (A) und/oder um die zweite Achse (B) durch Positionserkennungsbauteile (5) bestimmbar ist, wobei das zweite Aufhängungselement (4) die Positionserkennungsbauteile (5) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Aufhängungselement (4) einen Biegefeder-Teil (7) und einen Torsions-Teil (8) aufweist, wobei der Biegefeder-Teil (7) ein erstes Positionserkennungsbauteil (5) und der Torsions-Teil (8) ein zweites Positionserkennungsbauteil (5) aufweisen, wobei das erste und das zweite Positionserkennungsbauteil (5) gleich oder unterschiedlich aufgebaut sind.</p> |
