摘要 |
【課題】 優れた寸法精度及び安定性を実現すること。【解決手段】 所定量のフレキシブル弾性を有する電気絶縁性の材料に埋め込まれた絡み合ったカーボンナノチューブの導電性柱状体を導電性接触プローブとして使用することができる。柱状体は、所定量の材料の両面の間において延在することができる。配線基板の端子は、柱状体内に延在することが可能であり、且つ、試験対象の装置の試験を制御するテスタに対する電気インターフェイスに電気的に接続することができる。物理的に結合された構造のペアにより、所定量の材料を配線基板に結合することができる。ペアは、レセプタクル及び突出部を含むことができる。【選択図】 図1A |