| 摘要 |
게이트 밸브 및 이들 사용하는 방법이 본 발명에서 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 처리 챔버에 사용하기 위한 게이트 밸브는 개구를 갖춘 몸체로서, 상기 개구가 상기 몸체의 제 1 표면으로부터 대향하는 제 2 표면으로 관통하여 배열되는 몸체와; 상기 개구의 측벽으로부터 상기 몸체 내측으로 연장하는 포켓과; 상기 포켓 내에 이동가능하게 배열되는 게이트로서, 상기 게이트는 상기 개구를 밀봉하는 폐쇄 위치와 상기 개구를 노출시키고 상기 포켓 내에 상기 게이트를 전체적으로 배열시키는 개방 위치 사이에서 이동가능한 게이트; 및 상기 게이트가 개방 위치에 있을 때 상기 포켓을 선택적으로 밀봉하도록 구성되는 셔터를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 하나 또는 그보다 많은 히터들이 상기 몸체 또는 셔터 중의 하나 이상에 연결될 수 있다. |
