| 摘要 |
<p>Halbleitervorrichtung, die umfasst: einen Halbleiterchip (1) mit einer Steuerelektrode (5); und ein Belastungsdetektionselement (7), das auf einer Oberfläche des Halbleiterchips (1) angeordnet ist und ein Piezowiderstandselement (7a, 7b, 7-1a, 7-1b, 7-2a, 7-2b) umfasst, dessen Widerstand sich in Reaktion auf eine auf die Oberfläche des Halbleiterchips (1) aufgebrachte Belastung ändert, wobei das Belastungsdetektionselement (7) eine auf die Oberfläche aufgebrachte Belastung durch Detektieren einer Veränderung des Widerstandes des Piezowiderstandselements (7a, 7b, 7-1a, 7-1b, 7-2a, 7-2b) mittels Überwachung der Änderung des Widerstandswerts des Piezowiderstandselements detektiert, wobei die Halbleitervorrichtung ein Steuersignal, das an die Steuerelektrode (5) angelegt werden soll, in Reaktion auf die durch das Belastungsdetektionselement (7) detektierte Belastung steuert.</p> |
