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Bei einer Gaslaseranregungsanordnung (1, 1') mit einer integrierten Impedanzanpassungsanordnung, umfasst die Impedanzanpassungsanordnung: a. eine Hochfrequenzanschlussleitung (11b, 11b'), die an eine Leistungsquelle (20) anschließbar ist, b. eine Gaslaserelektrode (5, 5'), die mit der Hochfrequenzanschlussleitung (11b 11b') verbunden ist wobei die Hochfrequenzanschlussleitung (11b, 11b') geeignet ist Hochfrequenzleistung von der Leistungsquelle (20) zu der Gaslaserelektrode (5, 5') zu übertragen und c. eine Schirmungsanordnung zur Abschirmung der zu übertragenden Hochfrequenzleistung, wobei die Schirmungsanordnung zwischen Hochfrequenzanschlussleitung und Gaslaserelektrode (5, 5') angeordnet ist; wobei d. die Hochfrequenzanschlussleitung (11b, 11b') mit der Gaslaserelektrode (5, 5') und/oder der Schirmungsanordnung derart zusammenwirkt, dass sich die resultierende Impedanz zumindest über einen Abschnitt der Hochfrequenzanschlussleitung (11b, 11b') verändert. |
