| 摘要 |
본 발명은 사이트클론용 전자석 시스템으로 본 발명의 사이트클론용 전자석 시스템은 복수의 힐과 복수의 밸리로 구성되며, 빔이 운동하는 전자석 중심 평면 자기장 분포를 형성하는 제2섹터와 외부로부터 전원을 공급받아 전기장 및 자기장을 형성하는 제2코일을 포함하는 제2판;상기 제2섹터와 상기 제2코일 사이에 배치되며, 상기 제2섹터와 소정 거리로 이격되어 탈착가능하도록 설치된 챔버; 상기 제22판에 설치되며, 원주부에 일정구간이 절결된 적어도 한 개 이상의 절결구간을 포함하는 원통형 요크; 상기 챔버 설치시, 상기 챔버와 상기 섹터가 상기 소정 거리를 유지하여, 상기 챔버의 쏠림을 방지하도록 하는 간격유지부;상기 제2섹터의 복수의 밸리 중 적어도 하나의 밸리에 끼워지는 끼움부재; 및 적어도 하나의 상기 끼움부재와 결합되고 상기 챔버를 관통하여, 상기 절결구간의 내부 또는 상기 제2판 요크 외부까지 연장된 연결대를 포함하여 상기 챔버의 회전을 방지하는 회전방지부;를 포함할 수 있다. |
