发明名称 半導体装置及びその製造方法
摘要
申请公布号 JP5852937(B2) 申请公布日期 2016.02.03
申请号 JP20120165869 申请日期 2012.07.26
申请人 株式会社ソシオネクスト 发明人 依田 博行;夏秋 昌典;芥川 泰人;今野 慎吾;穂積 孝司;小島 功
分类号 H01L23/12;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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