一种多晶硅生产系统及方法

摘要

本发明提供一种多晶硅生产系统及方法，根据预设的第一尾气与物料流量比例控制输送至还原炉的反应尾气的流量，并检测反应尾气中二氯二氢硅的组分、输送至还原炉的反应尾气的流量以及进入还原炉的氢气和三氯氢硅的混合气的流量，当尾气控制周期到达时，计算当前反应尾气与物料混合后的气体的二氯二氢硅的含量，并根据所述二氯二氢硅的含量、预设的第一含量和第二含量，控制输送至还原炉的反应尾气的流量，能够有效控制进入还原炉的反应尾气中的二氯二氢硅的含量，减少无定型硅的生成，提高多晶硅产品品质，延长下游工序设备的使用寿命。

主权项

一种多晶硅生产系统，包括：物料管线、混合器、还原炉、尾气总管线和尾气回收管线，其特征在于，所述系统还包括：物料流量检测装置、尾气组分检测装置、尾气流量检测装置和尾气流量控制装置；尾气流量控制装置包括：控制器和设置于尾气回收管线上的尾气调节阀；控制器上预设有尾气控制周期、第一尾气与物料流量比例、第一含量和第二含量，其中，第二含量大于第一含量； 物料流量检测装置，用于检测进入还原炉的氢气和三氯氢硅的混合气的流量； 尾气组分检测装置，用于检测反应尾气中二氯二氢硅的组分； 尾气流量检测装置，用于检测尾气回收管线上的反应尾气的流量； 控制器分别与尾气调节阀、物料流量检测装置、尾气组分检测装置和尾气流量检测装置相连，用于根据预设的第一尾气与物料流量比例控制尾气调节阀，以控制输送至还原炉的反应尾气的流量；以及，当尾气控制周期到达时，根据尾气组分检测装置当前检测到的反应尾气中的二氯二氢硅的组分、尾气流量检测装置当前检测到的尾气回收管线上的反应尾气的流量、物料流量检测装置当前检测到的氢气和三氯氢硅的混合气的流量，计算当前反应尾气与物料混合后的气体的二氯二氢硅的含量；以及，根据所述当前反应尾气与物料混合后的气体的二氯二氢硅的含量、预设的第一含量和第二含量，控制尾气调节阀，以控制输送至还原炉的反应尾气的流量。