一种轴承外圈滚道强化处理装置

摘要

本实用新型公开了一种轴承外圈滚道强化处理装置及处理方法，包括真空处理室、高真空抽气系统、高压靶台、等离子体产生器、离子加速组件和供气系统。本实用新型通过真空处理室、高真空抽气系统、高压靶台、等离子体产生器、离子加速组件和供气系统的配合，形成一套完整的离子注入处理设备。射频电源建立射频放电氮、碳、氩等离子体，大功率高压脉冲电源对被处理钢球提供负高压脉冲偏压，以实施离子注入或薄膜沉积处理。轴承外圈套在栅网电极及中心电极上，使得轴承外圈的滚道获得较均匀的注入剂量；强化处理效果更好。

主权项

一种轴承外圈滚道强化处理装置，其特征在于，包括真空处理室、高真空抽气系统、高压靶台、等离子体产生器、离子加速组件和供气系统；所述的真空处理室包括钟罩、底板，所述的钟罩置于底板上方；所述的高真空抽气系统包括涡轮分子泵和旋片式真空泵，所述的真空泵与涡轮分子泵连接，所述的涡轮分子泵吸入口穿过底板与真空处理室连通；所述的的高压靶台包括靶台圆盘和绝缘支撑座，所述的支撑座一端固定在底板上，另一端固定在靶台圆盘底部将其支撑固定；所述的等离子体产生器包括射频电源、中心电极和栅网电极；所述的底板上设置若干组轴承外圈冷却套，所述的轴承外圈冷却套内设置栅网，所述的栅网内设置中空管；所述的中空管穿过靶台圆盘和底板，所述的栅网穿过靶台圆盘并与底板连接；所述的射频电源一端连接底板，间接与栅网连接形成栅网电极，另一端与管壁上设有若干孔的中空管相连形成中心电极；所述的离子加速组件包括大功率高压脉冲电源和靶台电极，固定在靶台圆盘下端的靶台电极穿过底板与大功率高压脉冲电源连接，大功率高压脉冲电源另一端与底板连接并接地；所述的供气系统与真空处理室内的中心电极连接。