| 发明名称 | 用于改善边缘一致性的腔室气体扩散器孔设计 | ||
| 摘要 | 在一个实施例中，用于沉积腔室的扩散器包括板和多个气体通道，所述板具有数个边缘区域、数个角落区域和区域，所述多个气体通道包括孔洞，所述多个气体通道形成在所述板的上游侧与下游侧之间，其中，在所述板的角落区域或边缘区域中的一个或多个中的孔洞的长度或直径中的一项或多项与在所述板的区域中的孔洞的对应长度或对应直径不同。 | ||
| 申请公布号 | CN105308211A | 申请公布日期 | 2016.02.03 |
| 申请号 | CN201480032438.6 | 申请日期 | 2014.03.12 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 赵来;古田学;王群华;崔寿永;D·李;B·S·朴;H-L·杨 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 黄嵩泉 |
| 主权项 | 一种用于沉积腔室的扩散器，所述扩散器包括：板，所述板具有数个边缘区域、数个角落区域和中央区域；以及多个气体通道，所述多个气体通道包括孔洞，所述多个气体通道形成在所述板的上游侧与下游侧之间，其中，所述板的所述角落区域或所述边缘区域中的一个或多个中的孔洞的长度或直径中的一项或多项与所述板的所述中央区域中的孔洞的对应长度或对应直径不同。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||