发明名称 |
抛光盘及其冷却装置 |
摘要 |
本发明揭示了一种抛光盘的冷却装置,应用于抛光盘,该冷却装置包括:开设在抛光盘上的冷却水入口和冷却水出口;开设在抛光盘中的环形的回液槽和回液通道,回液通道的一端与回液槽连通,回液通道的另一端与冷却水出口连通;开设在抛光盘中的冷却水沟槽,冷却水沟槽位于抛光盘中被回液槽包围的区域,冷却水沟槽均匀分布且呈树枝状,每一冷却水沟槽包括主沟槽和侧沟槽,主沟槽的一端与冷却水入口连通,主沟槽的另一端与回液槽连通,侧沟槽的一端分别与主沟槽连通,侧沟槽的另一端分别与回液槽连通。本发明还揭示了一种采用上述冷却装置的抛光盘。 |
申请公布号 |
CN105290956A |
申请公布日期 |
2016.02.03 |
申请号 |
CN201410235835.5 |
申请日期 |
2014.05.30 |
申请人 |
盛美半导体设备(上海)有限公司 |
发明人 |
杨贵璞;王坚;王晖 |
分类号 |
B24B37/11(2012.01)I |
主分类号 |
B24B37/11(2012.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
陆嘉 |
主权项 |
一种抛光盘的冷却装置,应用于抛光盘,其特征在于,该冷却装置包括:开设在抛光盘上的冷却水入口和冷却水出口;开设在抛光盘中的环形的回液槽和回液通道,回液通道的一端与回液槽连通,回液通道的另一端与冷却水出口连通;开设在抛光盘中的冷却水沟槽,冷却水沟槽位于抛光盘中被回液槽包围的区域,冷却水沟槽均匀分布且呈树枝状,每一冷却水沟槽包括主沟槽和侧沟槽,主沟槽的一端与冷却水入口连通,主沟槽的另一端与回液槽连通,侧沟槽的一端分别与主沟槽连通,侧沟槽的另一端分别与回液槽连通。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢 |