压印装置、压印方法及物品的制造方法

摘要

本发明提供一种压印装置、压印方法及物品的制造方法。该压印装置通过使用模具来使供给到基板的拍摄区域上的压印材料成型，所述压印装置包括：检测单元，其被构造为检测对所述拍摄区域设置的各个标志以及对所述模具设置的各个标志；以及控制单元，其被构造为基于所述检测单元的检测结果进行所述模具与所述基板之间的对准，其中，所述控制单元通过使用关于所述拍摄区域的变形的信息来获得对所述拍摄区域设置的标志的位置的预测值，将检测结果与预测值之差未落入容许范围的标志确定为异常标志，并且进行所述对准，而不使用针对所述异常标志的检测结果。

主权项

一种压印装置，其通过使用模具来使供给到基板的拍摄区域上的压印材料成型，所述压印装置包括：检测单元，其被构造为检测对所述拍摄区域设置的多个标志的各个以及对所述模具设置的多个标志的各个；以及控制单元，其被构造为基于所述检测单元的检测结果进行所述模具与所述基板之间的对准，其中，所述控制单元通过使用关于所述拍摄区域的变形的信息来获得对所述拍摄区域设置的标志的位置的预测值，将对所述拍摄区域设置的所述多个标志当中的、检测结果与预测值之差未落入容许范围的标志确定为异常标志，并且进行所述对准，而不使用针对所述异常标志的检测结果。