| 摘要 |
본 발명은 굴절률 변조를 갖는 패턴을 포함하는 투명 기판의 제조 방법에 관한 것이다. 상기 방법에 따르면, 투명 기판에 적어도 하나의 레이저 선 형태로 기판 상에 집속되는 레이저 방사선을 조사하고, 여기서 기판은 레이저 방사선을 적어도 부분적으로 흡수하고, 레이저 선의 종방향 (Y)을 가로지르는 방향 (X)으로, 기판과 기판 상에 집속되는 레이저 선 간의 상대 이동을 발생시키고, 상기 상대 이동 동안에 레이저 선의 출력을 상대 이동 속도, 및 상대 이동 방향 (X)에서의 패턴의 치수에 따라서 시간적으로 변조한다. |
