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기판의 표면 위에 전도성 트레이스와 상호접속체를 형성하는 방법은 일 실시예로서 기판 표면 위에 유전체 층 또는 중합체 층을 형성하고, 유전체 층 또는 중합체 층 위에 전기 전도성 재료의 시드 레이어를 형성하고, 시드 레이어 위에 포토레지스트를 패턴 형성하고, 패턴 형성된 포토레지스트 및 시드 레이어 위에 전도성 트레이스를 형성하고, 기판으로부터 포토레지스트를 제거하고, 전도성 트레이스를 제외한 기판 표면의 구역들로부터 시드 레이어를 제거하는데 유효한 레이저 광의 플루엔스를 기판의 표면에 조사하는 단계를 포함한다. |
