| 摘要 |
본 발명은 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치에 관한 것으로, 플라즈마 고도수처리 장치에 있어서: 상기 기체 배출관(13c)에 설치되어서 라디칼 발생원의 압력을 측정하고 측정된 압력이 설정된 기준압력 이상인 경우에는 밸브동작제어신호를 출력하는 압력계(15); 상기 압력계(15)의 후단에서 기체 배출관(13c)에 설치되고, 상기 압력계(15)로부터 밸브동작제어신호를 수신하면 개방 동작하는 순방향밸브(16)가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하고, 처리대상수가 이중관체의 제2 소통로(13A)로 역류하는 것을 예방할 수 있는 이점이 있다. |
