| 发明名称 |
液体前驱组成物、其制备方法、以及利用组成物以形成层之方法 |
| 摘要 |
明提供一种液体前驱组成物，伴随制备液体前驱组成物的方法，以及例如在如CVD及ALD的气相沉积制程中，利用液体前驱组成物以形成层的方法。在部分实施例中，液体前驱组成物包含化学式M(DAD)2
的金属化合物，其中M 系为Co 或Ni以及DAD系为二氮杂二烯配位体。 |
| 申请公布号 |
TW201604305 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
| 申请号 |
TW104119200 |
申请日期 |
2015.06.15 |
| 申请人 |
UP化学股份有限公司 |
发明人 |
韩元锡;高元勇 |
| 分类号 |
C23C16/18(2006.01);C23C16/448(2006.01);C07F15/04(2006.01);C07F15/06(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/18(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
杨长峯;李国光;张仲谦 |
| 主权项 |
一种液体前驱组成物，其包含： 由下列化学式1表示的一金属化合物： ＜化学式1＞ M(DAD)2
； 其中，在化学式1中， M表示Co或Ni，以及 DAD表示由R1
NC(R3
)C(R4
)NR2
表示的二氮杂二烯配位化合物，其中，R1
至R4
的每一个独立包含H、或直链或支链的C1-5
烷基；以及 其中，该金属化合物系为该液体前驱组成物的80%或以上。 |
| 地址 |
南韩 |
