电路图案检查装置

摘要

图案检查装置系相邻或者接近于检查部之供电电极之两侧而排列有复数个消弧电极，相对于施加于检查对象之导电体图案的检查信号，将相位偏移之交流之消弧信号施加至各消弧电极，而形成与藉由检查信号所产生之电场方向呈反向之电场分布，并将藉由检查信号所产生之电场分布之下端部分加以削除，而形成被尖锐化之合成电场分布，并选择性地供电至检查对象之导电体图案，而加以实施由所获得之检测信号所进行之导电体图案之良好或者缺陷之正确判定。

主权项

一种电路图案检查装置，其特征在于包含：供电部，其在同一基板上形成有检查电极及复数个消弧电极，而该检查电极系将以呈行状之方式排列有复数个导电体图案之基板作为检查对象，对于一个上述导电体图案在上方呈对向且加以电容耦合，并施加预先决定之交流之检查信号，而该复数个消弧电极系在与上述排列方向呈交叉之方向上，隔开相同之间隔以连续之方式设置于上述检查电极之两侧；检查信号供给部，其供给交流之检查信号至上述检查电极；消弧信号供给部，其相对上述检查信号同时地供给相位被偏移至同相及反相之复数个消弧信号；感测器部，其形成有感测电极，而该感测电极系对向配置于与上述检查电极呈对向之导电体图案之上方且加以电容耦合，检测自上述供电部所施加之上述检查信号；移动部，其将上述供电部及上述感测器部以一体之方式加以保持，且于上述导电体图案之上方以一定之距离加以分离，并且移动于与该导电体图案之排列方向呈交叉之方向；及缺陷判定部，其利用将第一判定与第二判定加以组合或者使用任一者而加以进行不良判定，而该第一判定系将藉由上述感测器部以时序之方式所取得之检测信号，与预先决定之判定基准值进行比较，而加以判定有无缺陷，而该第二判定系对于以上述时序之方式所取得之检测信号，当检测信号值之时序变化在设定期间内超过所预先决定之范围时，对于将超过该范围之检测信号加以送出之导电体图案进行不良判定；
自藉由上述移动部而移动中之上述供电部，依序对导电体图案同时地施加上述检查信号及上述复数个消弧信号，相对于藉由上述检查信号所产生之电场分布，形成藉由上述消弧信号以反向之方式所形成之电场分布，而将藉由上述检查信号所产生之电场分布之下端部分加以削除，并藉由将被尖锐化之合成电场分布之波峰部分触及检查对象之导电体图案而将上述检查信号加以供电。