用于印刷多层图案的多重控制方法及相关设备

摘要

在支撑件上多-层印刷之方法包括复数个印刷步骤，包括在相应印刷站中进行的第一印刷步骤及进一步随后之印刷步骤；及复数个排列步骤，每一排列步骤提供于第一印刷步骤之后及相应进一步随后之印刷步骤上游，其中排列装置造成支撑件之准确配置与/或印刷站之调整以执行随后之印刷步骤。方法在各个印刷步骤下游及各个排列步骤上游包括控制步骤，其中侦测装置侦测工作面上印刷于支撑件上之层的位置与/或支撑件的位置，且其中至少一命令与控制单元将该些侦测之位置至少一者与预定位置与/或先前控制步骤中侦测之位置相比较，且其中比较结果系用于排列步骤。

主权项

一种在一支撑件上多-层印刷之方法，该支撑件为一晶圆、一基板或矽制薄片，该方法包括：复数个印刷步骤(11,21,31)，包括在数个相应印刷站(50,60,70)中进行之一第一(11)印刷步骤及进一步随后之印刷步骤(21,31)；及复数个排列步骤(13,23)，在该第一(11)印刷步骤后且该些进一步随后之印刷步骤(21,31)之一相应者上游提供各个排列步骤，其中数个排列装置(54,64)造成该支撑件之正确配置与/或该些印刷站(50,60,70)之调整以执行该些随后之印刷步骤；其中该方法在各个印刷步骤(11,21,31)下游且各个排列步骤(13,23)上游包括一控制步骤(12,22,32)，其中数个侦测装置(52,62,72)侦测印刷于该支撑件上之层的位置与/或该工作面上之支撑件的位置，且至少一命令与控制单元(53,63,73,120)将该些侦测之位置之至少一者与数个预定位置与/或该先前控制步骤中侦测之位置相比较，且其中该比较结果系用于数个随后排列步骤(13,23)；其中各个控制步骤(12,22,32)侦测之位置系由该命令与控制单元(53,63,73,120)用于一在一随后支撑件上多-层印刷之随后工作周期，在该各个控制步骤之一分别一者前之一分别排列步骤中。