硏磨装置及硏磨方法

摘要

一种不会降低生产效率及良品率，并可掌握移动部之异常状态的双头研磨加工装置。
双头研磨加工装置1包括：主轴驱动部30，系使可安装砂轮10之主轴31转动；移动部90，系使主轴驱动部30在接近、远离晶圆W之方向移动；以及倾斜量测部60，系测量主轴驱动30部之移动所伴随之主轴31之倾斜的变化。

主权项

一种研磨装置，以砂轮研磨被研磨物，其特征为包括：主轴驱动部，系使可安装该砂轮之主轴转动；移动部，系使该主轴驱动部在接近、远离该被研磨物之方向移动；以及倾斜量测部，系测量该主轴驱动部之移动所伴随之该主轴之倾斜的变化。