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一种以低成本成膜形成具备耐久性的薄膜之方法。该成膜方法系使用成膜装置1。该装置1系包括：真空容器11，基板100系被配置在其内部下方；真空泵15，其系用以将该容器11内排气；储存容器23，其系储存成膜剂溶液21且设置在容器11外部；及喷嘴17，其系在一端具有能够将成膜剂溶液21吐出之吐出部19。作为成膜剂溶液21，系使用由包括第1材料(S1)、及具有比该S1的蒸气压(P1)更高的蒸气压(P2)之第2材料(S2)之2种类以上的材料所构成之溶液。将该成膜剂溶液21在比P1更高且比P2更低的压力之环境下吐出至基板。
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