| 发明名称 |
具电浆源的沉积反应器 |
| 摘要 |
明系有关一种沈积反应器，包含一馈入部件会界定一扩张空间，其系构制成可将反应物如一顶向底流由一电浆源导向一反应室，该扩张空间会朝向该反应室逐渐扩宽，及一扬升机构用以由该反应室的顶侧将至少一基材装载于该反应室。该沈积反应器系构制成可藉依序的自行饱和表面反应来沈积材料于该反应室中的所述至少一基材上。
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| 申请公布号 |
TWI519673 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
| 申请号 |
TW101109337 |
申请日期 |
2012.03.19 |
| 申请人 |
皮寇桑公司 |
发明人 |
奇尔皮 凡诺;黎微明;玛琳恩 提摩;寇斯特摩 朱哈娜;琳佛斯 史凡 |
| 分类号 |
C23C16/54(2006.01);C23C16/455(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/54(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
| 主权项 |
一种沈积反应器，包含：一馈入部件，可界定出一扩张空间，其系构制成可使反应物如一顶向底流(top to bottom flow)而由一电浆源导向一反应室，该扩张空间会朝向该反应室逐渐扩宽；及一扬升机构，用以由该反应室的顶侧将至少一基材装载于该反应室；且该沈积反应器系构制成可藉依序的数个自行饱和表面反应来将材料沈积在该反应室中的该至少一基材上。
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| 地址 |
芬兰 |
