发明名称 多种尺寸可调适型的旋转夹具系统
摘要 新颖之可更换式旋转夹具系统被提供,其让使用者不用任何额外的工具能快速地更换基板尺寸及旋转夹具类型。此系统具有一种二件式的设计,并克服先前旋转夹具设计的许多缺点,例如是在坐落该旋转夹具及确保该旋转夹具是在一致的平面度及高度上的困难度。此外,此旋转夹具系统允许该等旋转夹具能以一较低的成本被制造。因此,此具经济效益的设计,并不限制使用者由于预算的限制,勉强使用不正确的旋转夹具,而是给予使用者使用一较广范围之旋转夹具尺寸及类型。
申请公布号 TW201603899 申请公布日期 2016.02.01
申请号 TW104116212 申请日期 2015.05.21
申请人 布鲁尔科技公司 发明人 艾莫里 科克;威尔森 布兰登;卢耶信 罗杰
分类号 B05D1/40(2006.01);H01L21/687(2006.01) 主分类号 B05D1/40(2006.01)
代理机构 代理人 阎启泰;林景郁
主权项 一种旋转夹具组合,其包括:一具有上及下端部的基底,该基底具有一位在该下端部的开口,该开口被构造成使一主轴能被定位于其中;一具有上及下侧边的旋转夹具,该上侧边被构造成支撑一基板,该下侧边被可移除式地连接至该基底上端部,该旋转夹具不会是以被施加至该旋转夹具及该基底之一的一小于约5in-lbs的作用力便可从该基底被移除的。
地址 美国