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发明名称
用于电浆反应装置之衬套单元
摘要
用于电浆反应装置之衬套单元,该电浆反应装置具有一第一腔体以及一第二腔体,该衬套单元包含:一第一连接部,用于与该第一腔体连接,以及一第二连接部,用于与该第二腔体之一对接部对接。该第一连接部与该第一腔体之一内侧壁的结构互补,以及该第一连接部及第二连接部两者的横向边长尺寸不同。
申请公布号
TW201604918
申请公布日期
2016.02.01
申请号
TW103146624
申请日期
2014.12.31
申请人
科闳电子股份有限公司
发明人
姜文兴
分类号
H01J37/32(2006.01)
主分类号
H01J37/32(2006.01)
代理机构
代理人
康清敬
主权项
一种用于电浆反应装置之衬套单元,该电浆反应装置具有一第一腔体以及一第二腔体,该衬套单元包含:一第一连接部,用于与该第一腔体连接,并且该第一连接部与该第一腔体之一内侧壁的结构互补;以及一第二连接部,用于与该第二腔体之一对接部对接,其中该第一连接部及第二连接部两者的横向边长尺寸不同。
地址
新竹县湖口乡实践路10之1号
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