非接触式晶圆搬运装置

摘要

非接触式晶圆搬运装置，系用以搬运一晶圆，包含有一基座、一移动臂、一管体、一负压装置、一上盖以及一限位模组，该移动臂与该基座枢接并具有一远离该基座的操作端，该管体设置于该移动臂，具有一通道以及一和该通道连通并形成于该操作端的吸取口，该负压装置连接于该通道而使该吸取口产生一吸附力，该上盖自该操作端朝外延伸而出并具有一周缘，该限位模组设置于该周缘，包含有一自该周缘延伸的限位件以及一连接于该限位件和该周缘之间的弹性单元。于置放该晶圆时，藉由该弹性单元提供一缓冲作用，使该上盖不会接触到该晶圆。

主权项

一种非接触式晶圆搬运装置，系用以搬运一晶圆，包含有： 一基座； 一与该基座枢接并相对该基座移动的移动臂，该移动臂具有一远离该基座的操作端； 一设置于该移动臂之中的管体，该管体包含有一容置一流体的通道以及一和该通道连通并形成于该操作端的吸取口； 一连接于该通道而使该吸取口产生一吸附该晶圆的吸附力的负压装置； 一自该操作端朝外延伸而出的上盖，该上盖具有一周缘；以及 一设置于该周缘的限位模组，包含有一自该周缘延伸而与该上盖之间形成一晶圆容置空间并限制该晶圆水平移动的限位件以及一连接于该限位件和该周缘之间以提供该限位件一垂直往复位移的弹性单元。