具振膜支撑结构的声波传感器

摘要

明提供了一种声波传感器，具有一基板、一振膜以及一背板。振膜覆盖基板的一开孔并具有相连的复数个振动部。声波传感器还具有一连接部连接任二相邻的振动部的交接处，使各振动部能独立产生振动，并且振动部的几何形状互不相同。藉此，各振动部彼此独立振动且互不影响，让设计者在不增加振膜的总面积并维持一定程度的灵敏度与讯噪比的情况下，能简单地藉由改变振膜的几何形状来提升声波传感器的动态范围。

主权项

一种具振膜支撑结构之声波传感器，包含一基板、一振膜以及一背板，该振膜设于该基板上并覆盖该基板之一开孔，其特征在于：该振膜具有相连的复数个振动部，该声波传感器还具有一连接部设于该背板与该振膜之间，并连接任二相邻之该等振动部之交接处，使各该等振动部能独立产生振动，且各振动部之几何形状互不相同。