| 发明名称 |
炉管制程的派工控制方法 |
| 摘要 |
炉管制程的派工控制方法，包括下列步骤。在多批晶圆进入炉管之前，算出各批晶圆的特性变异值。将多批晶圆依照特性变异值的大小进行排序。将多批晶圆依照特性变异值由大到小的顺序对应于炉管中造成特性变异值变小到变大的多个位置摆放在炉管中。
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| 申请公布号 |
TW201604963 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
| 申请号 |
TW103125690 |
申请日期 |
2014.07.28 |
| 申请人 |
力晶科技股份有限公司 |
发明人 |
吴俊达;萧世宗;陈建中 |
| 分类号 |
H01L21/324(2006.01);F27B1/20(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/324(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗;詹东颖;刘亚君 |
| 主权项 |
一种炉管制程的派工控制方法，包括：在多批晶圆进入一炉管之前，算出各该批晶圆的一特性变异值；将该多批晶圆依照该些特性变异值的大小进行排序；以及将该多批晶圆依照该些特性变异值由大到小的顺序对应于该炉管中造成该特性变异值变小到变大的多个位置摆放在该炉管中。
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| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行一路12号 |
