基板处理装置

摘要

明之目的在于提供一种可缩小基板处理装置之专用体积之技术。本发明之基板处理装置1具备：复数个处理部21，其执行对基板W之处理；搬送机器人CR，其进行沿着1个以上之直动轴各者之直动动作、与将铅直轴作为中心之回转动作，并对各处理部21搬送基板；搬送室V，其被划分为搬送机器人CR之动作空间；及搬送控制部301，其控制搬送机器人CR之动作。在此处，于搬送室V内所规定之第1部分区域V1之宽度(即，沿着与1个以上之直动轴正交之水平之轴之宽度)小于搬送机器人CR之回转直径R。且，搬送控制部301禁止搬送机器人CR于第1部分区域V1内之回转动作。

主权项

一种基板处理装置，其系处理基板者，且包含：复数个处理部，其执行对基板之处理；搬送装置，其进行沿着1个以上之直动轴各者之直动动作、与将铅直轴作为中心之回转动作，且对上述复数个处理部各者搬送基板；搬送室，其被划分作为上述搬送装置之动作空间；及搬送控制部，其控制上述搬送装置之动作；且上述直动动作系上述搬送装置与执行上述回转动作之铅直轴一起沿着上述1个以上之直动轴而在水平方向上移动的动作；于上述搬送室内规定之第1部分区域之沿着与上述1个以上之直动轴正交之水平之轴之宽度，小于上述搬送装置之回转直径；上述搬送控制部在上述直动动作时禁止上述搬送装置于上述第1部分区域内之上述回转动作。