PROCEDE ET STATION DE TRAITEMENT D'UNE BOITE DE TRANSPORT EN MATERIAU PLASTIQUE POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHERIQUE DE SUBSTRATS

摘要

L'invention concerne un procédé de traitement d'une boîte de transport en matériau plastique pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats présentant des parois confinant un volume destiné au stockage de substrats, caractérisé en ce qu'il comprend au moins une étape de traitement par plasma (103 ; 105) au cours de laquelle on soumet au moins une paroi intérieure de ladite boîte de transport (3) à un plasma d'un gaz de traitement sous une pression gazeuse inférieure à 10000 Pascal. L'invention concerne aussi une station de traitement de boîtes de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats.